镀膜工艺---Coating Technology

镀膜技术： 是指在真空条件下，采用物理轰击或者化学反应的方法将材料（俗称靶材或膜料）沉积在整个基材表面的一种技术。

公司拥有电子束蒸发、磁控溅射、LPCVD、PECVD、ALD等一系列镀膜技术，蒸镀材料涵盖金、铂、钨、镍、银、铜、铝、锡、铬、钛、钽等全部常用金属，非晶硅、氧化硅、氮化硅、氧化铝、氧化铪等非金属材料，镀膜具有均匀性好，膜层致密，均匀性好等特点。