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外延生长--Outer edge of growth

外延生长是指在单晶衬底(基片)上,按照要求生长一层具有一定厚度和晶向的单晶层,按照衬底和所生长单晶层的材料类型,可以分为同质外延和异质外延。

公司提供衬底为蓝宝石,Si,GaN,GaAsSiC的外延生长,载气包括氢气,氮气,MO源包括镓,铟,铝,镁,硅,氮源有氨气。

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