硅基分子筛
硅基介孔材料孔径分布狭窄,孔道结构规则,并且技术成熟,研究颇多。
硅系材料可用催化,分离提纯,药物包埋缓释,气体传感等领域,硅基材料又可根据纯硅和掺杂其他元素而分为两类,进而可根据掺杂元素种类及不同的元素个数不同进行细化分类。
杂原子的掺杂可以看作是杂原子取代了原来硅原子的位置,不同杂原子的 引入会给材料带来很多新的性质,例如稳定性的变化、亲疏水性质的变化、 以及催化活性的变化等等。
基于MEMS技术等发展,在超薄LPVD(低压化学气相沉积)氮化硅上,成功的制备了孔径一致,且排列有序硅基分子筛。