研材耗材-硅片系列产品

硅片产品：

1、进口硅片

直径：2-8英寸；掺杂N/P；晶向：<100>/<110>/<110>;电阻率：0.001-2000Ω.cm.

2、国产硅片

直径：2-8英寸；掺杂N/P；晶向：<100>/<110>/<110>;电阻率：0.001-2000Ω.cm.

3、测试片

直径：2-8英寸，该类片可作为工艺陪片使用，或者作为对电学性能没有要求的正片使用

4、Dummy

直径：2-12英寸。一般作为没有洁净度要求的单项工艺测试

5、高阻硅片（进口）

FZ硅片，MCZ硅片，直径2-12英寸；掺杂：N/P;电阻率：100Ωcm-20kΩcm及以上

6、氧化硅片（进口/国产）

直径：2-8英寸；氧化层厚度：100A-25um.氧化层厚度>3um,需根据客户需求定制

7、SOI硅片

直径： 4-8英寸，根据用户提供顶层硅、氧化硅、载片这三层的指标参数，检素库存或特殊定做

8、外延片

直径： 2-8英寸，根据客户提供的衬底和外延层详细指标进行定制

9、其他特殊硅片

超厚硅片/超薄硅片/金属化硅片（硅片表面镀有各类金属，Cr,Ti,Ni,Cu,Au,Pt等等）/氮化硅硅片（普通LPCVD生长，或低应力SiN）/超平硅片/特殊晶向硅片/穿孔硅片/绒化硅片

玻璃石英片产品：

1、7740玻璃片（Corning)/BF33玻璃片(Schott)

直径：4-8英寸；厚度：200-500um.
参数及包装标准：表面光洁度：<0.5nm(两面光学研磨）；可定制切边：32.5±1mm(4寸）
导角：0.05-0.2mm;真空包装盒包装，25片/盒

2、石英片

直径：2-6英寸，厚度0.5-2mm,分为单晶石英片和熔石英玻璃片（JSG1,JSG2,JSG3)

其他衬底产品：

1、匀胶铬版

光掩模基板，在平整的，高光洁度的玻璃基板上通过直流磁控溅射（SP）沉积上幅画铬·氮氧化铬薄膜而形成铬膜基板，在涂一层光刻胶制成匀胶铬版。

2、砷化镓片

直径： 2-4英寸；晶向：<100>.

3、蓝宝石片

直径：2-4英寸；晶向：C,A,R,M等，厚度200um-1mm.

4、铌酸锂、钽酸锂、GaN等特殊衬体

直径：2-4英寸，可根据需求定制