研材耗材-特殊材料以及无尘耗材工具
| 材料 | 用途 | 特点 | 厚度范围/um |
| PI(polyimide)聚酰亚胺 | 耐击穿性能好，作为钝化层 | 光敏，可通过光刻形成图形 | 2-150 |
| 国产PI | 作为钝化层或牺牲层 | 非光敏或光敏，价格便宜 | 2-50 |
| 干膜 | 选择性电镀、键合、喷砂等工艺 | 适用于较厚的光刻工艺，大量使用成本低 | 100-300 |
| Solder mask | 用于器件表面的阻焊材料 | 光敏，固化后物理性能好 | 10-100 |
| 热剥离膜 | 用于各类工艺中衬底的背面保护 | 常温年贺岁，升温到一定温度后可自动脱落，残留少 | |
| 紫外剥离膜（白膜/蓝膜） | 用于减薄或划片工艺中硅片的粘贴固定 |
| 无尘耗材及工具 | |
| 品名 | 用途 |
| 光刻胶瓶 | 用HDPE材料，经过清洗，洁净度高， 适用于将大容量包装的各类光刻胶或试剂分装成小瓶使用 |
| 一次性滴管 | 一次性可吸5ml液体，适用于匀胶工艺中将光刻胶从瓶中取出 |
| 自吸附盒 | 利用表面的黏附力能将器件固定和保护在固定位置。 |
| 镊子 | 用于夹持衬底，稳定，不会上海衬底中心 |
| 划片刀 | 用于切割硅片，玻璃片等衬底 |
| 花篮 | 特氟龙/石英材质，用于清洗和显影 |
| 其他耗材 | 手套，头套，口罩，无尘布，无尘纸，棉签，试剂瓶等等 |
