氮化硅薄膜

基于MEMS技术等发展，在超薄LPVD（低压化学气相沉积）氮化硅上，成功的制备了孔径一致，且排列有序硅基分子筛。

硅基介孔材料孔径分布狭窄，孔道结构规则，并且技术成熟，研究颇多。

硅系材料可用催化，分离提纯，药物包埋缓释，气体传感等领域，硅基材料又可根据纯硅和掺杂其他元素而分为两类，进而可根据掺杂元素种类及不同的元素个数不同进行细化分类。

杂原子的掺杂可以看作是杂原子取代了原来硅原子的位置，不同杂原子的 引入会给材料带来很多新的性质，例如稳定性的变化、亲疏水性质的变化、 以及催化活性的变化等等。

氮化硅膜窗格具有高洁净度，高X-射线透射性，低应力，高强度且膜厚均匀一致的特性，适用于高温（～1000℃）实验以及不同压力环境的测试。氮化硅膜采用低应力技术（＜250MPa），氮化硅膜薄透且不易破损，非常适合于前沿的生物、材料、物理、化学等方面的研究。